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  • Vom Kristall zum Bauelement –  das ForLab Mat4μ identifiziert neue Grundmaterialien für die Mikroelektronik in Deutschland.

ForLab Mat4μ

Vom Kristall zum Bauelement – neue Grundmaterialien für die Mikroelektronik

Das Forschungslabor Mikroelektronik Freiberg für Materialien der Leistungselektronik untersucht neuartige Materialien für Anwendungen in diesem Bereich. Die Wissenschaftler um Prof. Dr. Johannes Heitmann am Institut für Angewandte Physik der TU Bergakademie Freiberg beschäftigen sich beispielsweise mit der Abscheidung und Charakterisierung von Dünnschichtdielektrika sowie Halbleitern mit großer Bandlücke für elektronische und optoelektronische Anwendungen. Auch die Einbettung von nanokristallinen Halbleitern in dielektrische Schichten gehört zu den Forschungsschwerpunkten.

Zusätzlich konnten im Rahmen der ESF-Nachwuchsforschergruppe „Defekt-Engineering in Wide-Bandgap-Halbleitermaterialien für Anwendungen in der Opto- und Leistungselektronik“ verschiedene spektroskopische Verfahren zur elektrischen und optischen Charakterisierung von Halbleitermaterialien mit großer Bandlücke etabliert werden.

Diese Defektcharakterisierung können die Forscher im ForLab Mat4µ durch die Nutzung eines gut ausgestatteten Reinraumlabors mit einer Integration der Materialien in Testbauelementen auf Waferlevel kombinieren. Damit sollen bereits während der Materialentwicklung Aussagen über mögliche Auswirkungen von Defekten auf Bauelemente möglich werden. Die Freiberger Wissenschaftler wollen damit die Integration neuer Halbleitergrundmaterialien in die Mikroelektronik vereinfachen und Innovationszyklen im Materialbereich verkürzen.