ForLab Bochum in Japan: German-Japanese Plasma Processing Workshop 2027

ForLab Bochum zu Gast in Japan: Nach der erfolgreichen ersten Ausgabe des German-Japanese Plasma Processing Workshops 2025 in Bochum wird der PPW 2027 in Japan stattfinden. Vom 8. bis 12. März 2027 (Montag bis Freitag) kommen Wissenschaftler:innen aus der ganzen Welt auf Okinawa zusammen, um sich über die neuesten Entwicklungen im Plasma Processing auszutauschen. Dabei liegt der Fokus auf Anwendungen der Halbleiter-Herstellung. Vom ForLab Bochum sind Julian Schulze vom Lehrstuhl für Allgemeine Elektronik und Plasmatechnik und Claudia Bock vom Lehrstuhl Mikrosystemtechnik als Invited Speaker dabei.

Gebündelt wird der PPW mit zwei weiteren Workshops: dem 4. International Workshop on Plasma Cryo Etching Processes (PlaCEP-4) vom 8. bis 10. März (Montag bis Mittwoch) und dem 117. IUVSTA Workshop on Advanced Plasma Processing for Atomic Scale Precision (IUVSTA-117) vom 10. bis 12. März (Mittwoch bis Freitag). Die Organisation übernimmt Prof. Satoshi Hamagucchi, der Ende des Jahres auch wieder zu Gast an der Ruhr-Universität Bochum sein wird.

Abstracts können bis zum 15. November 2026 eingereicht werden.

Den ersten German-Japanese Plasma Processing Workshop richtete das ForLab Bochum im März 2025 aus. Eine Gruppe aus Japan sowie Vertreter:innen aus Wissenschaft und Industrie in Deutschland besuchten das ForLab. Neben Vorträgen und Poster-Sessions besichtigten die Teilnehmenden auch das Bochumer Cluster Tool (Foto).