Mikroelektronikforschung an der BTU Cottbus-Senftenberg

Infrastruktur

Umfeld

Forschungsreinraum Senftenberg

Fachgebiet Experimentalphysik und funktionale Materialien

• Optoelektronische Bauelemente: Verbindung von Nanostrukturierung mit Materialintegration für maßgeschneiderte optische Eigenschaften
• Materialforschung: Integration von Sn-haltigen Legierungs-Halbleitern auf Si

Fachgebiet Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie

• CMOS-kompatible Herstellung von Ceroxid-basierten Sensorschichten auf nanostrukturiertem Silizium
• In-situ und operando Charakterisierung und –optimierung von ALD-Beschichtungsprozessen
• Mikrospektroskopische Materialcharakterisierung von 2D- und Sensormaterialien

Fachgebiet Allgemeine Elektrotechnik

• Analyse von Festkörperoberflächen auf Textur und Materialzusammensetzung
• Untersuchung & Methodenentwicklung an Halbleiter-Strukturen, -Bauelementen und Baugruppen

Fachgebiet Halbleitermaterialien

• Erforschung neuer Materialien für künftige Bauelemente der Mikroelektronik

Fachgebiet Mikro- und Nanosysteme

• Erforschung und Entwicklung von siliziumbasierten MEMS-Bauelementen und darauf aufbauender Systeme
• Virtuelle Labortour: https://icampus.th-wildau.de/vr/panorama/?q=294

Großprojekte:

• Innovationscampus Elektronik und Mikrosensorik (iCampμs), Gesamtvolumen 20 Mio. Euro, Laufzeit 2022 – 2026
• »Optoelektronische Sensoren für anwendungsnahe Systeme für Lebenswissenschaften und intelligente Fertigung« (OASYS), Gesamtvolumen 12,5 Mio. Euro, Laufzeit 2023-2028

Lehre

• B. Sc. Elektrotechnik
• B. Sc. Physik
• M. Sc. Elektrotechnik
• M. Sc. Physics
• M. Sc. Micro- and Nanoelectronics

Sommerschule „Characterization of micro- and nano-materials“