Mikroelektronikforschung an der Ruhr-Universität Bochum

Der Lehr­stuhl für Mikrosystemtechnik befasst sich mit allen Aspekten Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) sowie bestimmten Themen der 2D-Halbleiter, von der Idee bis zur Fertigung im Reinraum. Forschungsschwerpunkte sind neue Konzepte der 2D-Elektronik, zeitintegrale Sensoren, die Mikroaktorik, die Mikro-Nano-Integration sowie die Systemintegration für spezifische Anwendungsfelder.

Das „Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für 2D Elektronik“ – ForLab Bochum stellt wesentliche Basistechnik der Mikrosystemtechnik und der 2D-Halbleitertechnik auf Substraten bis 200 mm Durchmesser zur Verfügung. Darüber hinaus werden Geräte im Zentrum für Grenzflächen-dominierte Höchstleistungswerkstoffe betreut und genutzt, insbesondere die dort vorhandenen Anlagen zum Plasma-basierten Ätzen.

Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen. Dazu gehören u.a. ein PVD-Cluster zur Abscheidung dünner Schichten aus Metall, Metalloxiden oder -nitriden, ein ALD-Cluster zur Abscheidung von 2D Schichten, sowie deren Ätzung im ALE oder RIE Verfahren. Zur Strukturierung der Schichten stehen ein Laserlithographiesystem und ein MaskAligner zur Verfügung.

Die elektrische Charakterisierung erfolgt mittels Semiconductor Parameter Analyzern, Lock-In Technik (bis f = 200 MHz) und Kapazitäts-Spannungs-Messgeräten. Ein REM und ein AFM ermöglichen die Analyse der Topographie und Morphologie der Dünnschichten. Ein Drop-Shape-Analyzer dient zur Messung der Oberflächenenergie. Ein Ellipsometer dient zur Schichtdickenbestimmung und Bestimmung der Brechungsindizes. Zusätzlich stehen ein Konfokalmikroskop und mehrere Lichtmikroskope zur Verfügung.