In der kommenden Woche (27. bis 29.10.25) findet der MikroSystemTechnik Kongress in Duisburg statt. Am ForLab-Stand freuen sich Pia Marie Braun und Tilman Lieberknecht auf den Austausch mit Ihnen. Am 29.10.25 (Mittwoch) ist ForLab mit einer Session zur universitären Forschungsinfrastruktur vertreten. Und: Viele Mitglieder des Verbundes nehmen mit Vorträgen und Postern teil. Hier geben wir Ihnen einen Überblick über die ForLab-Aktivitäten beim MST-Kongress. Wir freuen uns auf eine spannende Woche!

Dienstag, 28.10.25

Vorträge

Single-photon detection in Ge- & GeSn-on-Si avalanche photodiodes. Maurice Wanitzek (Universität Stuttgart) – 10:30 Uhr, Philharmonie

Mechanischer „Operationsverstärker“ Mit Elektrostatischer Anti-Feder. Philip Schmitt, Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum) – 11:10 Uhr, Rudolf-Schock-Saal

Microstructuring and Fine Tuning of Glass- And Silicon Nitride-Based Microsystems by Focused Electron-beam Irradiation. Christoph Weigel (Technische Universität Ilmenau, ZMN) – 14:00 Uhr, Tagungsraum 4

Tischgerät zur molekularen Gasphasenabscheidung von selbstorganisierten Monolagen für die Nanoimprint-Lithografie. Marvin Henkel (Technische Universität Ilmenau, ZMN) – 15:40, Tagungsraum 4

Efficient Thermal Tuning of Silicon Microring Resonators Based on Thermo-Optic Effect. Ahmad Haydar Ahmad Haydar (TU Hamburg) – 16:00, Philharmonie

Towards Phase-change Contacts In PEALD Grown Molybdenum Disulfide Via Intercalation By Focused-ion Beam. Marvin Krüner (Ruhr-Universität Bochum) – 16:00, Tagungsraum 4

Wafer-Scale Atomic Layer Et@ching Of Al2O3 And 2D-MoS2 Grown By Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition. Leander Vogel (Ruhr-Universität Bochum) – 16:00 Uhr, Tagungsraum 6

Efficient Thermal Tuning of Silicon Microring Resonators Based on Thermo-Optic Effect. Ahmad Haydar (TU Hamburg) – 16:00, Philharmonie

Passive Mask Charge Control For More Effective RIE Etching Of Silicate Glasses. Anant Bhardwaj (Technische Universität Ilmenau, ZMN) – 16:20, Tagungsraum 4

On-Chip-Brechungsindex-Sensoren in 200-mm-Wafer-Siliziumtechnologie. Fritz Berkmann (BTU Cottbus-Senftenberg) – 16:20 Uhr, Tagungsraum 4

Poster

Review: Keramische Mehrlagenschaltungsträger zur monolithischen Sensorintegration. Heike Bartsch (Technische Universität Ilmenau, ZMN)

Novel 3d fabrication method for Micro-Flame Ionization Detectors. Sven Bohne (Hamburg University of Technology), Ye Li (Hamburg University of Technology), Lennart Rogoll (Hamburg University of Technology), Peter Lienerth (HORIBA Europe GmbH), Hoc Khiem Trieu (Hamburg University of Technology)

A Robust Hardware Security Trust Anchors Based on a Fab-Compatible CNT-on-Insulator Semiconductor Platform. Simon Böttger, Martin Ernst, Martin Schmid, Florian Frank, Martin Hartmann, Elif Kavun, Stefan Katzenbeisser, Sascha Hermann (Technische Universität Chemnitz)

Liquid Characterization Using Dielectric Slot Waveguide and Machine Learning for Sensing in the THz regime. Paulami Das (Ruhr-Universität Bochum)

Sophisticated 3D Patterning By E-Beam And I-Line Grayscale Lithography And Followed IBE, RIE And DRIE Structure Transfer To Enable Future Photonic, NEMS And MEMS Application Fields. Christian Helke (Fraunhofer ENAS; TU Chemnitz, Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien), Sebastian Schermer (Fraunhofer ENAS), Markus Gottwald (Fraunhofer ENAS), Pia Kohlschreiber (Fraunhofer ENAS), Jens Bonitz (Fraunhofer ENAS), Micha Haase (Fraunhofer ENAS; TU Chemnitz, Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien), Georg Umaluf (Fraunhofer ENAS), Karla Hiller (Fraunhofer ENAS; TU Chemnitz, Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien), Danny Reuter (Fraunhofer ENAS; TU Chemnitz, Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien)

Creation Of Biomimetic Structures In Functional Glasses From Biological Surfaces By Combi- ning Nanoimprinting And Reactive Ion Etching. Jakob Nüßlein (Technische Universität Ilmenau, ZMN)

Enhancing the Applicability of Femtosecond Laser Written Waveguides in Fused Silica. Lukas Rennpferdt, Sven Bohne, Sreejith Puthanveedu, Hoc Khiem Trieu (Technische Universität Hamburg)

TiN Nanogap Electrodes for DNA Nanoelectronics and Computing: Fabrication and Characterization. Saadman, Abedin (Technische Universität Ilmenau, ZMN)

Mittwoch, 29.10.25

Vorträge

Universitäre Forschungsinfrastruktur für die Mikroelektronik in Deutschland (Session mit Präsentationen und Q&A). Chairs: Thomas Mikolajick (Technische Universität Dresden), Norbert Wehn (Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau); Vortragende: Thomas Mikolajick, Lukas Krupp (Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau), Norbert Wehn, Jens Müller (Technische Universität Ilmenau, ZMN); Moderation: Pia Marie Braun – 11:00 Uhr, Tagungsraum 6

Gründen eines MEMS Start-ups: Von der Forschung zum Produkt. Philip Schmitt (Ruhr-Universität Bochum, mechIC GmbH), Steffen Wittemeier (Ruhr-Universität Bochum, mechIC GmbH), Lisa Schmitt (Ruhr-Universität Bochum, mechIC GmbH), Henning Mays (Ruhr-Universität Bochum, mechIC GmbH), Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum) – 11:00 Uhr, Philharmonie.

Entwicklung eines Systems zur nanoskaligen, spitzenbasierten 3D-Materialabscheidung aus der Gasphase. Johannes Krech (Technische Universität Ilmenau, ZMN), 11:20 Uhr, Rudolf-Schock-Saal

MEMS-Based Measurement of the Ion Angle Distribution for Sustainable Semiconductor Dry Etching. Marcel Melzer (Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS; Center for Micro and Nanotechnologies, Chemnitz University of Technology), Katja Meinel (Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS; Center for Micro and Nanotechnologies, Chemnitz University of Technology), Chris Stöckel (Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS; Center for Micro and Nanotechnologies, Chemnitz University of Technology), Torben Hemke (Chair of Applied Electrodynamics and Plasma Technology, Faculty of Electrical Engineering and InformationTechnology, Ruhr-University Bochum), Thomas Mussenbrock (Chair of Applied Electrodynamics and Plasma Technology, Faculty of Electrical Engineering and InformationTechnology, Ruhr-University Bochum), Sven Zimmermann (Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS; Center for Micro and Nanotechnologies, Chemnitz University of Technology) – 16:40 Uhr, Konferenzraum 2-3

Poster

Design Of A Dielectric Waveguide Switch In High-Resistivity Silicon For THz Applications. Marcel Alver Burfeindt (Ruhr-Universität Bochum)

Deformation Of A Spherical Droplet Into Fluidic Lens Under EWOD Effect Through A Simulated Perforated Multi Stacked Hydrophobic Microsystem. Debatri Das (Ruhr-Universität Bochum)

Development of a Microfluidic Chip with Integrated Hydrogel Membranes for Tissue Engineering Applications. Lisa Marie Ehlers, Lukas Rennpferdt, Hoc Khiem Trieu (Institut für Mikrosystemtechnik, TUHH)

MEMS-abstimmbare hochgüte-Resonatoren für den THz-Bereich. Lisa Schmitt, Jannis van der Herten, Jesús Sanchez Pastor, Alejandro Jiménez-Sáez, Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum)

Fingerprinting Architecture based on a MEMS Varactor Array for Hardware Security. Katja Meinel (Technische Universität Chemnitz; Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS), Christian Schott (Technische Universität Chemnitz), Franziska Mayer (Technische Universität Chemnitz), Dhruv Gupta (Technische Universität Chemnitz), Sebastian Mittag (Technische Universität Chemnitz), Susann Hahn (Technische Universität Chemnitz), Sebastian Weidlich (Technische Universität Chemnitz, Daniel Bülz (Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS), Roman Forke (Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS), Karla Hiller (Technische Universität Chemnitz; Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS), Ulrich Heinkel (Technische Universität Chemnitz), Harald Kuhn (Technische Universität Chemnitz; Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS)

Switchable Microvalve for High-Pressure Applications. Daybith Venegas-Rojas, Sven Bohne, Hoc Khiem Trieu (Hamburg University of Technology)