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  • Die „Forschungslabore Mikroelektronik Deutschland“ vernetzen sich untereinander und sind Wegbereiter der mikroelektronischen Revolution.

ForLab FAMOS

Integration neuer Materialien für optoelektronische Bauelemente

Integrierte Lichtquellen auf Silizium, neuartige optische Sensoren und elektrooptische Technologien für Kommunikation sollen im Forschungslabor Funktionale Materialien für optoelektronische ,More-than-Moore‘ Bauelemente auf der Silizium-Plattform entstehen. Ziel der Wissenschaftler um Prof. Dr. Inga Anita Fischer an der Brandenburgischen Technischen Universität Cottbus-Senftenberg ist die Integration neuer Materialien für optoelektronische Bauelemente.

Forschungsschwerpunkt des Forlab FAMOS ist es, neue Materialien – die Halbleiter Germanium-Zinn GeSn und Silizium-Germanium-Zinn SiGeSn, Oxide, zweidimensionale Materialien und Polymere – auf eine ausgereifte Silizium-Plattform zu übertragen. Durch eine Integration der neuen Materialien in Silizium-basierte Bauelemente soll es möglich werden, die CMOS-Plattform für kosteneffektive Prozesse zur Bauelementherstellung zu nutzen und Funktionalität zu erreichen, die mit Silizium allein nicht erreicht werden kann.

Mit dem Forschungslabor FAMOS ist eine enge Kooperation der BTU Cottbus-Senftenberg an das Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (IHP) Frankfurt/Oder sowie das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) Dresden verbunden. Weil neue Materialien Kontaminationen verursachen können und daher in produktionsrelevanten Reinräumen nur eingeschränkt verwendet werden, ergänzt FAMOS die Kapazitäten dieser Partner und ermöglicht Forschung auf dem Gebiet der optoelektronischen Bauelemententwicklung mit hoher wissenschaftlicher und wirtschaftlicher Relevanz.