ForLab Bochum ist jetzt DFG Gerätezentrum

Universitäre Reinräume tragen in Deutschland wesentlich zur Grundlagenforschung auf dem Gebiet der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik bei. An der Ruhr-Universität Bochum betreibt ein ForLab-Mitglied, der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, einen 600 m² großen Reinraum für Mikrosysteme und 2D-Elektronik. Der Reinraum an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik wird gemeinsam mit RUB-internen wie externen Partnern für die Forschung genutzt.

Jetzt konnte die Registrierung des Reinraums in der RIsources-Datenbank der DFG als Gerätezentrum abgeschlossen werden, die eine vereinfachte Nutzung und Abrechnung ermöglicht. Die verfügbare Ausstattung und die Nutzungsordnung sind online verfügbar.

Der Reinraum umfasst eine MEMS-Fertigungslinie für Silicon-on-Insulator-Prozesse und eine Linie für 2D-Materialien für die Mikroelektronik der nächsten Generation. Beide Linien sind für 100 mm und 200 mm Wafer ausgelegt und verfügen über State-of-the-art Anlagentechnik.

Das ForLab Bochum engagiert sich für die bundesweite Vernetzung der universitären Reinraum-Infrastrukturen im Rahmen des BMFTR-geförderten Projektes ForLab NataliE, gemeinsam mit der TU Dresden und der TU Ilmenau. Im März 2026 wird das ForLab-Konsortium die Fachtagung Mikroelektronik ‘26 (FTME) in Bochum ausrichten.

Titelbild: Die ALD-Clusteranlage im ForLab Bochum. Foto: André Wirsig für ForLab